科创中国在佛山｜走进粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟
广佛之核，湾区之心，文瀚湖畔，一片现代化科技园坐落于此，这就是季华实验室。作为佛山科技创新的“领头羊”，季华实验室一直勇于重任，主动作为。为加强半导体装备及零部件企业间特别是产业链上下游之间的互动交流与协同合作，真正解决零部件企业在产品研发、验证及产业化过程中遇到的问题，季华实验室联合国内半导体装备及零部件企业和产学研用相关代表性机构发起成立粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟。
11月12日，在佛山市科学技术协会的组织下，我们来到粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟（以下简称“联盟”）。该联盟作为产业技术创新联盟的代表获得了2021年佛山市深入推进创新驱动助力工程项目市级补助。
据季华实验室研究员、粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟秘书长胡琅介绍，联盟自成立以来，开展了大量的工作，搭建起政府、企业和各协会之间的桥梁，做好“引进来”和“走出去”的工作。今年9月，联盟牵头单位季华实验室携11个项目参加了第23届中国国际光电博览会，并开展了相关的技术交流和产品展示。其中“极大规模集成电路制造装备专用射频电源研发及产业化”项目荣获“中国光电博览奖”金奖。
产学研有效结合是联盟一大特色，取得了丰硕成果。据介绍，联盟汇集了佛山市内外在国内行业知名的高等院校、科研院所及高新技术企业联盟单位，相关单位已有不少承担多项国家自然科学（重点、杰出青年）基金项目、国家重点研发计划项目、广东省重点研发计划项目等应用基础和产业化项目，在半导体、真空装备、新材料、新能源等领域取得了大量研究成果。不少联盟理事会成员为知名专家，掌握核心技术、科技成果应用推广经验丰富。依托广东省制造业大省和我市制造业大市的产业基础，抓住半导体、高端装备制造、电子信息、纳米技术、新型显示、新能源等产业升级浪潮，以技术顾问、特聘专家、外部董事等多种形式进入行内各个企业，积极开展产学研用的合作。
联盟组建前后开展了多项行业共性关键技术联合攻关，提高企业自主创新水平。联合申报国家、省、市产学研协同创新项目。除获得佛山市科协立项支持“粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟”外，联盟成员季华实验室、广东众元半导体、深圳恒运昌真空、江苏神州、中山凯旋真空等单位合作也获得了广东省重点研发项目《远程等离子源研发及产业化》、《高温高精度分子束源炉研发及产业化》、《半导体设备用低温泵研发》等项目。此外，联盟还积极推动成员的产学研合作，促成了联盟成员季华实验室与佛山市佛欣真空技术有限公司、广东振华科技股份有限公司等企业成立了联合实验室。
联盟创新创业活动十分活跃，行业专家以技术成果入股等形式直接创办企业也有许多成功案例。据介绍，联盟牵头单位季华实验室牵头创办的佛仪科技（佛山）有限公司，为季华实验室开展科技成果转化的第一家企业。公司依托季华实验室微波与真空技术研究室的科研成果，开展MOCVD设备、磁控溅射设备、微波/射频电源、真空压力计等半导体设备及关键零部件的研发生产。
联盟理事单位佛山市博顿光电科技有限公司，致力于通过高端离子源核心技术及离子束装备的国产化，打破国外垄断，解决国内在高端离子源及离子束设备领域“用不上”和“用不起”的行业困局，从上游核心部件解决精密光电行业的“卡脖子”问题。代表公司获得过多次中国创新创业大赛和军民融合创业大赛国赛和省赛奖项，短短三四年时间已带领公司获批国家高新技术企业、广东省中小型科技型企业，也获批了佛山市创新创业团队项目。在国内离子束技术与装备产品领域处于第一梯队，国产高端离子源产品市场占有率第一，已开拓和积累了上百家行业典型客户，其中有中国兵器集团、中国航天科技集团下属多家单位客户。公司已获得多家风险投资机构的股权投资，目前估值数亿元，其中有科技部成果转化基金的华南子资金加持。
此外，其他联盟成员也积极合作申报了多项佛山南海区“蓝海人才”及佛山高新区高技术产业化创业团队项目，有《碳化硅外延晶圆片制造技术及产业化》、《高透高硬DLC薄膜制备及产业化》等。
政策支撑 为联盟发力插上“隐形翅膀”
今年5月，佛山市和东莞市松山湖园区入选中国科协“科创中国”试点城市（园区），佛山市是广东省唯一入选的地级市。9月，在2021“科创中国”智能制造产学融合高峰论坛暨第二届广东省制造业高质量发展高峰论坛上，佛山市“科创中国”试点城市正式授牌。
今年，佛山市科学技术协会认线年创新驱动助力工程项目推进工作，积极组织专项资金政策宣讲、申报材料收集、整理和评审工作。经广泛发动，市科协共收集申报项目共有149个，总申报金额7430万元，参与申报的国家级学会36家。经评审和公示，共有45个项目获批立项，其中重点产业技术创新联盟项目7个，会企科研基地项目13个，20多个国家级学会参与项目合作。目前，佛山市科学技术协会已签订项目合同并支付第一期经费，并做好项目的监督管理工作。
近期，佛山市政府办公室印发了《佛山市“科创中国”试点城市建设方案》，进一步明确了工作目标和任务。据悉，政府将充分发挥财政资金的杠杆作用，严格做好创新驱动助力工程专项资金的申报、评审和验收工作，推动创新驱动助力工程示范项目做大做强，更好地服务本地产业转型升级。此外，还将计划扩大立项资助项目覆盖范围，在原有科协系统的国家级、省级学会的合作基础上，建议吸引港澳地区科技社团的科技、人才和项目资源，还有引进发达国家科技社团的科技、人才和项目资源，并考虑拓宽到科技部、工信部所属的科技社团。这样将有助于在更广的领域、更深的技术层面推动佛山的创新驱动助力工程工作，取得更多的实效。
来源：佛山市科学技术协会、季华实验室
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